編號 | 內容 | 規格參數 |
---|---|---|
1 | 機臺型號 | OKSUN-RTR2000L-W800H |
2 | 處理寬幅 | 100mm~800mm(可定制) |
3 | 真空腔 | 2000L(可定制) |
4 | 電源系統 | 2KW~10KW等離子體發生源 |
5 | 控制系統 | 觸摸屏+PLC自動控制 |
6 | 進氣系統 | 標配2路工作氣體,可擴展至5路工作氣體(Ar2、N2、H2、CF4、O2) |
機臺用途:用于處理PI聚酰亞胺薄膜、FPC柔性線路板的真空卷對卷設備; 設備特點:主要用于處理100~600mm寬幅之材料,材料在真空室內部水平處理,上下料簡單,可用于刻蝕工藝。 |
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