PM175L真空等離子清洗機
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| 編號 | 內容 | 規格參數 |
|---|---|---|
| 1 | 機臺整機規格 | 1400(W)×1720(H)×1100(D)mm |
| 2 | 真空室規格 | 550(W)×635(H)×535(D)mm |
| 3 | 電極板規格 | 進口鋁電極532(L)×412(W)mm |
| 4 | 控制系統 | 觸摸屏+PLC控制 |
| 5 | 真空測定系統 | 皮拉尼電阻式真空計 |
| 6 | 氣體計量系統 | 精確質量流量控制計 MFC |
| 7 | 氣體路數 | 2路進氣，1路放空 |
| 8 | 等離子發生器 | 500W&1KW等離子體發生源，40KHz（可選13.56MHz） |
| 9 | 工作氣體 | 2路工作氣體可選：Ar2、N2、H2、O2 |
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