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PCB用垂直等離子處理機 PM16H

PM16H

特點：高精度，快響應，良好的操控性和兼容性，完善的功能和專業(yè)的技術支持。

用途：適用于印制線路板行業(yè)，半導體IC領域，硅膠、塑膠、聚合體領域，汽車電子行業(yè)，航空工業(yè)等。

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編號	內容	規(guī)格參數(shù)
1	機臺整機規(guī)格	1820mm(W)×1100mm(D)×1860mm（H）
2	真空室規(guī)格	進口合金鋁1140(W)×1550（D)×1130(H) mm
3	電極板規(guī)格	16層垂直式式電極板（850mm×550mm）
4	控制系統(tǒng)	PC工控系統(tǒng)+PLC自動控制
5	真空測定系統(tǒng)	皮拉尼電阻式真空計
6	氣體計量系統(tǒng)	精確質量流量控制計 MFC
7	氣體路數(shù)	2—5路工作氣體可選：Ar2、N2、H2、CF4、O2
8	等離子發(fā)生器	10KW等離子體發(fā)生源（40KHz，可選13.56MHz）
9	工作氣體	2路工作氣體可選：Ar2、N2、H2、O2
特點：高精度，快響應，良好的操控性和兼容性，完善的功能和專業(yè)的技術支持。用途：適用于印制線路板行業(yè)，半導體IC領域，硅膠、塑膠、聚合體領域，汽車電子行業(yè)，航空工業(yè)等。 1、印制線路板行業(yè)：高頻板表面活化，多層板表面清潔、去鉆污，軟板、軟硬結合板表面清潔、去鉆污，軟板補強前活化。 2、半導體IC領域：COB、COG、COF、ACF工藝，用于打線、焊接前的清洗。 3、硅膠、塑膠、聚合體領域：硅膠、塑膠、聚合體的表面粗化、刻蝕、活化。